改变衬底表面的晶向对非平面 LPE 生长结构的影响  

Effect of Changed Substrate Surface Orientation on a Structure Grown by Non-Plane LPE

作　　者：杨海泉[1] 张兴德[1] 

机构地区：[1]长春光学精密机械学院

出　　处：《半导体光电》1989年第2期57-59,共3页Semiconductor Optoelectronics

摘　　要：改变衬底(100)面向[011]方向倾斜的角度α,可以得到不同的波导结构。Tihing angle of α from face(100) of the substrate to [011]direc- tion,the various waveguide structure can be obtained.

关 键 词：衬底 晶体生长 波导结构 晶向 

分 类 号：TN304.054[电子电信—物理电子学]