氮、氧化钛膜在表面工程上的应用  

APPLICATIONS OF TiN AND TiO_2THIN FILMS TO SURFACE ENGINEERING

作　　者：邱德润[1] 

机构地区：[1]合肥工业大学应用物理系

出　　处：《合肥工业大学学报（自然科学版）》1995年第3期49-53,共5页Journal of Hefei University of Technology：Natural Science

摘　　要：本文讨论了氮化铁、氧化钛薄膜在表面工程上的应用，包括金属零部件的表面钝化，在摩擦学、装饰、消毒杀菌和热反射玻璃等方面的应用．In this paper the applications of the TiN and TiO2 thin films to surface engineering are discussed, including surface passivation of medal parts, applications to tribology,decorating,sterileeing and heat-reflecting glass, etc.

关 键 词：表面工程 氮化钛 氧化钛 半导体 薄膜 

分 类 号：TN304.055[电子电信—物理电子学] TN305.92