等离子体材料加工  

Material Processing by Plasma

作　　者：吴承康[1] 

机构地区：[1]中国科学院力学研究所

出　　处：《航空工艺技术》1995年第A01期11-12,共2页Aeronautical Manufacturing Technology

摘　　要：就等离子喷涂及材料合成原理作简单叙述，着重介绍了等离子体材料加工技术在膜层沉积、微电子器件加工及金属熔炼等方面的应用。

关 键 词：等离子加工 等离子喷涂 等离子熔炼 气相沉积 

分 类 号：O539[理学—等离子体物理]