全硅集成光学──理论与工艺（Ⅶ）（续六）第七讲硅分支波导  

作　　者：赵策洲[1] 

机构地区：[1]西安电子科技大学微电子所

出　　处：《半导体光电》1995年第4期370-383,共14页Semiconductor Optoelectronics

摘　　要：全硅集成光学──理论与工艺（Ⅶ）（续六）第七讲硅分支波导赵策洲（副教授）（西安电子科技大学微电子所，西安７１００７１）１引言硅分支波导起到了光功率的传输和分割作用。它是硅耦合器和硅电光开关的重要组成部分。硅分支波导分支角的大小决定了它的功能和作用。尽...

关 键 词：硅 波导 集成光学 

分 类 号：TN25[电子电信—物理电子学]