微电子机械系统（MEMS）研究现状与展望  

作　　者：张寿柏 蔡炳初 

出　　处：《薄膜科学与技术》1995年第3期250-259,共10页

关 键 词：微电子机械系统 机械系统 微电子技术 

分 类 号：TH12－39[机械工程—机械设计及理论]