RIE制作透射电子显微镜用样品  

作　　者：晓青 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1995年第2期5-6,共2页

关 键 词：透射电子显微镜 反应离子蚀刻 试样 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]