国产硅舟的研制及其应用效果  

作　　者：许澄嘉 

出　　处：《电子材料（机电部）》1995年第12期5-7,共3页

关 键 词：硅舟 半导体器件 研制 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学]