分步光刻机的计算机控制  

作　　者：程建瑞[1] 

机构地区：[1]电子工业部第45研究所

出　　处：《电子工业专用设备》1995年第4期19-23,共5页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：本文在计算机控制理论的基础上，从接口的角度对精度要求高、过程动作及其复杂的直接分步光刻机的计算机控制做了深入探讨。提出了构造系统控制总线的方法，就总线对各分系统控制的实现做了深入研究，提出了几种保证可靠性和整机效率的方法，并实际应用于ＢＧ—１０２直接分步光刻机控制，效果良好。

关 键 词：直接分步光刻机 计算机控制 控制总线 接口 模块结构 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学] TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]