程建瑞

作品数：3被引量：7H指数：2
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供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
发文主题：亚半微米半导体器件光刻投影光刻INTEL更多>>
发文领域：电子电信经济管理自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《电子工业专用设备》更多>>
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半导体的行业挑战与摩尔定律被引量：3
《电子工业专用设备》2014年第3期23-30,60,共9页程建瑞 
在作为半导体工业发展革新的试金石数十年之后，当今的经济条件可能会使摩尔定律失效。这种可能的趋势，对芯片制造商和其他的相关行业从业者的影响是戏剧性的。
　　1965年，Intel 公司的共同创始人 Gordon Moore 发布了他对半导体...
关键词：半导体行业 摩尔定律 半导体工业 集成电路 运行速度 芯片制造商 INTEL 工业发展 
亚半微米投影光刻的自动对准技术被引量：4
《电子工业专用设备》1997年第4期17-22,共6页程建瑞 
主要介绍了国外用于生产型亚半微米分步投影曝光机的几种自动对准技术。通过分析对比，指出了相位光栅自动对准技术是我所研制下一代分步曝光机最具吸引力的方案。
关键词：自动对准 光刻 分步投影曝光机 半导体器件 
分步光刻机的计算机控制
《电子工业专用设备》1995年第4期19-23,共5页程建瑞 
本文在计算机控制理论的基础上，从接口的角度对精度要求高、过程动作及其复杂的直接分步光刻机的计算机控制做了深入探讨。提出了构造系统控制总线的方法，就总线对各分系统控制的实现做了深入研究，提出了几种保证可靠性和整机效率的...
关键词：直接分步光刻机 计算机控制 控制总线 接口 模块结构 
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