超微粒子气敏膜的制备  

作　　者：孙承松[1] 李云鹏[1] 

机构地区：[1]沈阳工业大学

出　　处：《仪表技术与传感器》1989年第6期6-8,共3页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：文中介绍用高频溅射方法制备了超微粒子气体敏感膜,研究了工艺参数对气敏膜的质量、性能的影响,并对气敏膜进行了测试,给出了试验曲线。

关 键 词：微粒子 气敏膜 气体泄漏 检测 报警 

分 类 号：TH703.2[机械工程—仪器科学与技术]