淮南纳米氮化硅中试装置粉体合成室压力数学模型  

作　　者：程玉正 李道火[1] 

机构地区：[1]中科院安徽光学精密机械研究所

出　　处：《工业仪表与自动化装置》1995年第6期6-8,共3页Industrial Instrumentation & Automation

摘　　要：本文给出的是在建中的淮南纳米氮化硅中试装置粉体合成空压力参数的数学模型。模型用于指导激光制粉合成室压力参数控制回路校正环节设计；对于其他气象反应系统过程参数动态特性自动控制系统设计具有参考价值。

关 键 词：纳米级 氮化硅 数学模型 粉体合成室 中试装置 

分 类 号：TB44[一般工业技术] TQ174.758[化学工程—陶瓷工业]