二元光学位相板修正干涉仪误差  

Using Binary Optical Phase Plate to Correct the Error of Interferometer

作　　者：王智勇[1] 徐敏[1] 江铁良 吴振华[1] 藏甲鹏 

机构地区：[1]北京工业大学应用物理系,北京光学仪器厂光栅室

出　　处：《光电子．激光》1995年第6期369-375,390,共8页Journal of Optoelectronics·Laser

摘　　要：本文提出了采用Ｚｅｒｎｉｋｅ多项式拟合干涉条纹的一种新的算法；详细讨论了采用二元光学位相板修正球面干涉仪误差的原理和方法，并根据计算出的球面干涉仪的误差制作了蚀刻二元光学位相板所需的掩模片。In this article, a new method of using Zernike polynomial to fit fringe is demonstrated. The principle and method using binary optical phase(BOPP)to correct the error of interferometer are also fully analyzed. And the mask used to etching BOPP is produced according to the error of spherical interferometer.

关 键 词：二元光学 位相板 干涉仪 误差 

分 类 号：TH744.301[机械工程—光学工程]