纳米X－Y工作台固有频率特性的研究  

Natural Frequency Characteristics or the Nanopositioning x-y Stage

作　　者：吴一辉[1] 杨洪波[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械研究所

出　　处：《光学精密工程》1995年第6期50-54,共5页Optics and Precision Engineering

摘　　要：从理论和实验西方面对纳米ｘ—ｙ工作台的固有频率特性进行了分析计算和讨论。The natural frequency characteristics of the nanopositioning stage was analized anddiscussed using theoretical and experimental methods.

关 键 词：纳米定位 工作台 固有频率特性 微动台 

分 类 号：TH703.8[机械工程—仪器科学与技术]