微动台

作品数：46被引量：156H指数：7
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压电叠堆致动器在大刚度负载下位移损失因素分析
《压电与声光》2025年第1期129-134,共6页张段芹 杨闻涛 张敬航 陈瑶瑶 刘旭玲 
河南省重点研发与推广专项(242102220003);河南省交通运输厅科技计划项目(2023-5-3,2020J2)。
通过测量大刚度负载下压电叠堆微动台的位移输出特性,表明其输出位移明显小于商用压电叠堆说明书中的预期值,且随着压电叠堆上预压力的增大,其输出位移先增大后减小。经分析发现,在大刚度负载、低预压力下,压电叠堆与负载之间的机械接...
关键词：压电叠堆致动器 大刚度负载 位移损失 预压力 微动台 
基于激光干涉与电容传感复合校准技术的纳米微动台分辨力评价方法研究被引量：2
《计量学报》2023年第8期1196-1201,共6页阎晗 张树 皮磊 马英瀚 胡佳成 施玉书 
国家重点研发计划(2021YFF0700403);国家市场监督管理总局质量技术基础能力建设专项(ANL2003)。
激光干涉仪测量纳米级分辨力时,因环境等因素的干扰测量具有局限性,电容传感器可较好地对抗这种干扰,但存在无溯源性、非线性误差的缺点。为实现纳米级分辨力的量值溯源,保障量值准确性,采用激光干涉仪对电容传感器进行校准,从而形成纳...
关键词：计量学 分辨力校准 激光干涉仪 电容传感器 纳米微动台 
基于PD反馈控制的音圈电机直驱式微动台直线度补偿技术被引量：1
《电机与控制应用》2022年第8期59-65,共7页李奇 
采用高频响、短行程型音圈电机驱动的微动台结构,设计挠性弹簧为系统提供足够的刚度,建立了喷墨打印扫描轴直线度误差补偿系统。分析了音圈电机直驱微动台的数学模型,研究了该类电机的伺服控制方法,提出了基于PD控制的位置闭环控制器,...
关键词：音圈电机 微动台 位置闭环控制 直线度补偿 喷墨打印 
浅谈基于OLED喷墨打印的基板微动台设计
《中国设备工程》2022年第2期100-101,共2页李奇 
本文针对OLED喷墨打印过程中存在角度、直线度误差的问题,确定基板载台在运动平台中的主要误差为偏摆误差(Yaw)和水平直线度误差。通过激光干涉仪测量出基板载台的偏摆误差和水平直线度误差,并将这些误差数据输入运动控制器中。设计一...
关键词：OLED喷墨打印 微动台 误差补偿 
复杂城市环境下地球物理勘探技术研究进展被引量：27
《工程地球物理学报》2020年第6期711-720,共10页刘铁华 刘铁 程光华 师学明 化希瑞 张邦 
国家重点研发计划项目(编号:2019YFC0605101)。
近十年来,在城市地下空间开发利用中,由于建筑物阻隔与强干扰影响,既有地球物理勘探技术应用过程中遇到了实施过程困难、数据质量低、勘探精度等难题,尤其在房屋密集区的勘探中困难重重,甚至出现勘探盲区。本文系统地总结了复杂城市环...
关键词：轨道交通 多源地震勘探技术 复杂城市环境勘探 主动源面波 微动台阵法 微动谱比法 
高精度电感测头的回程、径向误差检定夹具
《中国计量》2020年第7期117-118,共2页董志欣 
对于低精度电感比较仪误差的检定,典型的方法有立柱法、微动台架法和外力法、块规法。这些方法会引入大于0.05μm的误差,故在检定高精度电感比较仪时,为降低测量误差,笔者制作了一种回零准确度可达0.02μm的三坐标检具。一、装置原理三...
关键词：比较仪 三坐标 测头 微动台 检具 误差检定 片簧 测量误差 
粘滑式压电驱动平台的复合控制被引量：3
《光学精密工程》2019年第12期2571-2580,共10页徐斯强 朱晓博 刘品宽 
国家科学挑战计划资助项目（No.JCKY2016212A506-0105）;国家重大专项（No.2016ZX04002007）
粘滑式压电驱动平台能实现高精度的大行程运动,它由微动台和滑块组成,而微动台的低阻尼振动限制了粘滑式压电驱动平台的运动速度。为了解决这一问题,提出了一种基于主动阻尼的复合控制策略(PI-DPF-FF)。首先,对输入的锯齿波信号进行滤波...
关键词：压电驱动 复合控制 微动台 主动阻尼 
综合微动技术在昆明地铁勘探中适用性的量化研究被引量：16
《工程地球物理学报》2019年第5期572-579,共8页刘铁华 
在昆明地铁5号线针对某房屋密集区提出的勘探方案中采用了综合微动技术,由于微动法勘探成果的实际精度受反演参数影响较大,需要评估勘探成果的适用性,为设计提供措施依据。针对该问题,从覆盖层厚度和解释异常规模两个角度对所有方法成...
关键词：钻探盲区 微动台阵法 微动H/V谱比技术 量化分析 
用于扫描干涉场曝光的超精密微动台设计与控制被引量：5
《光学学报》2017年第10期202-210,共9页鲁森 杨开明 朱煜 王磊杰 张鸣 杨进 
国家科技重大专项"磁悬浮工件台关键技术研究"(2012ZX02702-006)
扫描干涉场曝光(SBIL)系统中曝光效果与工件台的运动性能密切相关。为了制作纳米精度的大面积平面光栅,工件台采用了粗微叠层结构设计,其中微动台是实现工件台运动精度的关键。基于SBIL原理,推导了干涉条纹周期测量精度与曝光对比度的...
关键词：测量 扫描干涉场曝光 微动台 条纹周期测量精度 相位锁定 
基于平面柔顺机构的θ_xθ_yZ微动台静力学分析及优化设计被引量：2
《机器人》2016年第5期557-562,共6页魏华贤 李威 杨雪锋 王禹桥 王承涛 
国家自然科学基金(51305444);江苏省"六大人才高峰"计划(ZBZZ-041);江苏高校研究生科研创新计划(KYLX15 1421);江苏高校优势学科建设工程(PAPD)
设计了基于平面柔顺机构的θ_xθ_yZ微动台.只考虑平面柔顺机构的平面内变形建立其静力学分析过程,对各支腿对动平台的作用进行独立分析.通过卡氏位移定理求得输入输出之间的转换关系,并建立了平面支腿位移放大比与结构尺寸的直接关系,...
关键词：柔性铰链 θxθyZ微动台 静力学 尺寸优化 
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