浅谈基于OLED喷墨打印的基板微动台设计  

作　　者：李奇 

机构地区：[1]季华实验室,广东佛山528200

出　　处：《中国设备工程》2022年第2期100-101,共2页China Plant Engineering

摘　　要：本文针对OLED喷墨打印过程中存在角度、直线度误差的问题,确定基板载台在运动平台中的主要误差为偏摆误差(Yaw)和水平直线度误差。通过激光干涉仪测量出基板载台的偏摆误差和水平直线度误差,并将这些误差数据输入运动控制器中。设计一种基板微动台机构,能牢固地吸附住基板,实现偏摆误差和水平直线度误差补偿。微动台能够完成基板微小角度纠偏。

关 键 词：OLED喷墨打印 微动台 误差补偿 

分 类 号：TH123[机械工程—机械设计及理论] TH39