高精度电感测头的回程、径向误差检定夹具  

作　　者：董志欣 

机构地区：[1]河南省鹤壁市质量技术监督检验测试中心

出　　处：《中国计量》2020年第7期117-118,共2页China Metrology

摘　　要：对于低精度电感比较仪误差的检定,典型的方法有立柱法、微动台架法和外力法、块规法。这些方法会引入大于0.05μm的误差,故在检定高精度电感比较仪时,为降低测量误差,笔者制作了一种回零准确度可达0.02μm的三坐标检具。一、装置原理三坐标检具由两组双片簧垂直配置而成,利用片簧的变形分别实现X轴方向和Y轴方向的位移,如图1所示。当测头装卡在Z轴方向时.

关 键 词：比较仪 三坐标 测头 微动台 检具 误差检定 片簧 测量误差 

分 类 号：TH822[机械工程—仪器科学与技术]