朱晓博

作品数：3被引量：13H指数：3
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供职机构：上海交通大学机械与动力工程学院更多>>
发文主题：压电陶瓷驱动器微定位柔性铰链压电驱动压电更多>>
发文领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《机电一体化》《机械设计与研究》更多>>
所获基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
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粘滑式压电驱动平台的复合控制被引量：3
《光学精密工程》2019年第12期2571-2580,共10页徐斯强 朱晓博 刘品宽 
国家科学挑战计划资助项目（No.JCKY2016212A506-0105）;国家重大专项（No.2016ZX04002007）
粘滑式压电驱动平台能实现高精度的大行程运动,它由微动台和滑块组成,而微动台的低阻尼振动限制了粘滑式压电驱动平台的运动速度。为了解决这一问题,提出了一种基于主动阻尼的复合控制策略(PI-DPF-FF)。首先,对输入的锯齿波信号进行滤波...
关键词：压电驱动 复合控制 微动台 主动阻尼 
一种垂直运动精密微定位平台的设计与分析被引量：7
《机械设计与研究》2016年第4期54-58,共5页徐骁 任佳琦 朱晓博 刘品宽 
国家自然科学基金资助项目(51135009)
根据桥式放大机构和平行四边形导向机构相结合设计了一种新型的垂直运动精密微定位平台。利用卡式定理推导了微定位平台的最大行程、刚度及放大比,利用拉格朗日方程推导了微定位平台的动力学模型及其固有频率。采用有限元仿真软件分析...
关键词：柔性铰链 压电陶瓷驱动器 微定位 垂直运动 
晶圆预对准系统定位算法研究被引量：3
《机电一体化》2013年第3期30-34,54,共6页梁家欣 朱晓博 刘品宽 
国家重大科技专项基金(2009ZX02012-001)
为提高光刻机生产效率与国产化普及程度,论文设计了一种高效、低成本晶圆预对准装置。根据装置采样点数较低、预对准时间短的特性,对最小二乘圆法及质心法两种算法在晶圆形心定位中的使用特点进行探究,并通过仿真进行验证。提出最小二...
关键词：晶圆预对准 最小二乘圆法 质心法 
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