专利名称：镀膜装置中的遮板  

机构地区：[1]台湾省精碟科技股份有限公司

出　　处：《表面技术》2005年第4期57-57,共1页Surface Technology

摘　　要：一种镀膜装置中的遮板，是用以在一基板上形成两种以上特定厚度的镀膜层，其中遮板的形状是由多数条同心圆弧线所构成，同心圆弧线的弧度是依据镀膜层的特定厚度设成。具有遮板能够精密控制镀膜层每一点的膜厚的功效。

关 键 词：镀膜装置 基板 专利名称 镀膜层 精密控制 圆弧线 厚度 同心 

分 类 号：TG174.444[金属学及工艺—金属表面处理] TN41[金属学及工艺—金属学]