BEPC贮存环超高真空系统高灵敏度的四极质谱计检漏方法  

作　　者：刘志满[1] 

机构地区：[1]中国科学院高能物理研究所

出　　处：《真空》1989年第6期1-3,共3页Vacuum

摘　　要：北京正负电子对撞机（ＢＥＰＣ）贮存环超高真空系统长约２４０米，由八个区段组成。 安装后经必要的常规氦质谱检漏和消除这些漏之后，真空度在烘烤前后分别达到１０－７帕 和１０－８帕。在此基础上做了如下工作。当离子泵系统存在微漏与一般漏（与系统的体 积和泵的抽速比较）时，漏入空气的成分在残气质谱图上有明显的差别。本文解释并利 用了这一现象，对系统进行高灵敏度检漏。

关 键 词：真空检漏 质谱检漏仪 

分 类 号：TB774[一般工业技术—真空技术]