真空检漏

作品数：134被引量：204H指数：7
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薄壁构件的氦质谱正压-真空检漏试验研究
《真空》2025年第1期15-20,共6页庞嘉炜 高建强 陈光奇 李杰 魏裕隆 
对薄壁部件的内部抽真空会引起构件的周向或径向失稳导致构件报废,这是困扰薄壁部件正压定量检漏的难题。本文提出一种对薄壁构件内部充氦气、外部抽真空的正压-真空氦质谱检漏方法。设计了用正压标准漏孔同步比对的定量检漏工装,可进...
关键词：氦质谱 检漏方法 薄壁部件 正压-真空检漏 最小可检漏率 
聚变装置真空系统远程泄漏检测方法研究
《真空与低温》2024年第3期262-267,共6页毕海林 付堃如 程春鹏 訾鹏飞 左桂忠 王旭迪 
安徽省自然科学基金青年项目(2108085QE234)。
磁约束核聚变装置真空室具有体积较大,法兰连接和焊接结构多,内部水冷管道较长等特点。在热应力、电磁力以及中子辐照的共同作用下,真空室存在较大的泄漏风险。未来的托卡马克装置将涉及氚运行工况,考虑到核辐射对人体的影响,传统的真...
关键词：托卡马克 真空检漏 真空羽流 分子屏 
碳化硅外延设备检漏技术研究与应用
《机械工程与自动化》2023年第4期171-172,177,共3页盛飞龙 徐俊 郭嘉杰 吴彩庭 刘欣 吴帆 
季华实验室基金项目(X210241TC210)。
碳化硅外延设备是囊括了高温、真空、运动、气体、电路、水冷等多学科、高危险的精密复杂设备。碳化硅外延生长需要在高温、低真空的环境下通入易燃易爆有毒工艺气体,因此设备的密封性尤为重要。介绍了利用控制系统对碳化硅外延设备自...
关键词：真空检漏技术 碳化硅外延设备 控制系统 
真空检漏机器人目标识别技术研究
《电子测量与仪器学报》2023年第8期128-135,共8页刘鹏 袁啸林 侯吉磊 万国扬 江明 周阳 左桂忠 
国家自然科学基金青年基金(11905254,12105322);安徽省自然科学基金青年基金(2108085QA38)项目资助。
在聚变装置真空检漏领域中,未来聚变装置涉氚运行,检漏人员无法进入装置检漏,这使得这项任务极其困难和耗时。为实现聚变装置泄漏设备的快速准确检测,本文以6自由度机械臂为研究对象,提出了一种GV2-YOLOv5的真空设备检测方法用于真空检...
关键词：聚变装置 真空检漏机器人 GhostNetV2 Ghost卷积 注意力机制 
真空检漏设备氦气提纯技术的研究与应用
《今日制造与升级》2023年第5期71-73,共3页徐茂功 
目前,在家电制冷、电力电子、精密器件、仪器仪表、汽车零部件、装备制造、新能源、新材料等制造行业,广泛应用真空检漏设备对关键零部件进行检漏,以满足产品的高精度质量要求。文章介绍一种应用在传统真空检漏设备上的氦气提纯技术及装...
关键词：氦气提纯 氦气回收 真空检漏 固体吸附法 分子筛 
镀膜设备真空检漏方法和分析思路
《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2023年第3期1-4,共4页刘春光 
晶圆镀膜工艺是在高真空的腔室中进行的,工艺要求在腔室中需要保持一个本底压力,如果漏孔较大,真空设备的抽速与漏孔漏率不能平衡,将无法满足做工艺的本底压力要求。当腔室出现漏孔的时候,就需要通过真空检漏来确定漏孔的位置和大小,堵...
关键词：晶圆镀膜 本底压力 漏孔 真空检漏 压升率 
低温发动机常用氦质谱检漏方法被引量：1
《装备制造技术》2022年第11期39-43,52,共6页王志猛 康红雷 张振 王春炎 霍福帅 郭亚明 
在阐述氦质谱检漏原理和检漏方法选择的基础上,介绍几种低温发动机常用的氦质谱检漏方法,举例介绍其检漏原理、检漏步骤和计算漏率后,针对低温发动机“低温高压”的工作特点,研究温度变化和压力变化对漏孔漏率的影响,给出漏孔漏率关于...
关键词：低温发动机 正压检漏 真空检漏 温度变化 压力变化 漏率 
设计真空设备需同时进行检漏方案设计研究被引量：1
《河南科技》2022年第19期39-44,共6页李育建 
在真空设备发生泄漏后,有时会出现漏点难找、检漏不方便、检漏时间长等问题。经分析研究后发现,这些问题产生的原因是有些真空设备在设计时忽略了真空检漏,从而导致后续真空检漏工作出现被动和困难。由此,笔者以真空设备为研究对象,在...
关键词：设计阶段 真空设备 真空检漏 检漏方法 
基于组态软件和多串口通讯的真空检漏监测系统设计与开发被引量：5
《核聚变与等离子体物理》2022年第2期216-222,共7页许婕 蔡立君 卢勇 罗山 张龙 田培红 
运用组态王软件开发了用于监控的人机界面,设计了基于组态王串口通信的真空检漏系统的监测系统。阐述了组态软件的画面绘制、变量定义、通信配置、脚本编写、数据报表查询和保存等,同时对多串口设备轮询程序进行了设计,实现了对监控系...
关键词：真空检漏 监测系统 组态王 串口通信 数据库 
汽轮机真空系统检漏策略优化及典型案例分析被引量：3
《河南电力》2021年第S02期58-60,98,共4页梁卓 
本文介绍了火电机组真空严密性试验的标准和真空系统检漏常用的方法和原理,通过对真空系统容易存在泄漏的位置进行总结,明确了检漏前对异常现象分析和检漏策略的合理使用对寻找检漏方向和提升检漏效率的重要性。对真空系统检漏案例的分...
关键词：汽轮机 真空系统 真空检漏 检漏效率 
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