真空检漏技术

作品数：13被引量：9H指数：2
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相关机构：合肥工业大学中国科学院长春物理所中国科学院中国科学院兰州物理研究所更多>>
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碳化硅外延设备检漏技术研究与应用
《机械工程与自动化》2023年第4期171-172,177,共3页盛飞龙 徐俊 郭嘉杰 吴彩庭 刘欣 吴帆 
季华实验室基金项目(X210241TC210)。
碳化硅外延设备是囊括了高温、真空、运动、气体、电路、水冷等多学科、高危险的精密复杂设备。碳化硅外延生长需要在高温、低真空的环境下通入易燃易爆有毒工艺气体,因此设备的密封性尤为重要。介绍了利用控制系统对碳化硅外延设备自...
关键词：真空检漏技术 碳化硅外延设备 控制系统 
真空检漏技术在真空感应炉安装中的应用
《设备管理与维修》2020年第13期140-141,共2页金开锋 吴瑞云 彭伟平 彭凌剑 
江苏省产业前瞻与共性关键技术竞争项目(编号:BE2017149);江苏省宿迁市产业发展引导资金(科技成果转化计划)项目(编号:C201703)。
根据真空感应炉真空系统的特点,结合真空检漏技术原理和方法,选择氦质谱检漏仪法进行真空感应炉安装中的真空检漏,归纳出真空感应炉各种常见漏点和具体处理方法,缩短了真空感应炉的安装验收过程,提高了工作效率。
关键词：真空 检漏技术 感应炉 安装 氦质谱检漏仪法 
真空检漏技术在自耗电弧炉维修中的应用被引量：3
《真空》2016年第1期66-68,共3页姬向锋 
本文结合真空检漏的概念及意义,根据真空自耗电弧炉真空系统的特点,详细讲述了真空检漏的原理及其注意事项,通过实际生产过程中实际的检漏过程总结出了检漏仪应用过程中的注意事项,对今后实际生产具有重要的指导意义。
关键词：检漏 真空度 氦质谱检漏仪 
《实用真空检漏技术》出版发行被引量：1
《真空》2014年第1期10-10,共1页谈治信 
由航天科技集团公司兰州物理研究所资深真空检漏技术专家、高级工程师曹慎诚编著的《实用真空检漏技术》一书已由化学工业出版社出版。该书是作者在几十年的真空检漏技术工程经验以及培训教学的基础上结合近几年出现的新技术、新成果综...
关键词：检漏技术 真空检漏 出版发行 航天科技集团公司 兰州物理研究所 化学工业出版社 高级工程师 检漏方法 
《实用真空检漏技术》出版发行
《真空》2013年第4期82-82,共1页谈治信 
由航天科技集团公司兰州物理研究所资深真空检漏技术专家、高级工程师曹慎诚编著的《实用真空检漏技术》一书已由化学工业出版社出版。该书是作者在几十年的真空检漏技术工程经验以及培训教学的基础上结合近几年出现的新技术、新成果综...
关键词：真空检漏 检漏技术 出版发行 航天科技集团公司 兰州物理研究所 化学工业出版社 高级工程师 检漏方法 
《实用真空检漏技术》出版发行
《真空》2012年第1期32-32,共1页谈治信 
由航天科技集团公司兰州物理研究所资深真空检漏技术专家、高级土程师曹慎诚编著的《实用真空检漏技术》一书已由化学工业出版社出版。该书是作者在几十年的真空检漏技术工程经验以及培训教学的基础上结合近几年出现的新技术、新成果综...
关键词：真空检漏 检漏技术 出版发行 航天科技集团公司 兰州物理研究所 化学工业出版社 技术专家 培训教学 
《实用真空检漏技术》出版发行
《真空》2011年第6期45-45,共1页谈治信 
由航天科技集团公司兰州物理研究所资深真空检漏技术专家、高级工程师曹慎诚编著的《实用真空检漏技术》一书已由化学工业出版社出版。该书是作者在几十年的真空检漏技术工程经验以及培训教学的基础上结合近几年出现的新技术、新成果综...
关键词：检漏技术 真空检漏 出版发行 航天科技集团公司 兰州物理研究所 化学工业出版社 高级工程师 技术专家 
《实用真空检漏技术》出版发行
《真空》2011年第5期7-7,共1页谈治信 
由航天科技集团公司兰州物理研究所资深真空检漏技术专家、高级工程师曹慎诚编著的《实用真空检漏技术》一书已由化学工业出版社出版。该书是作者在几十年的真空检漏技术工程经验以及培训教学的基础上结合近几年出现的新技术、新成果综...
关键词：检漏技术 真空检漏 出版发行 航天科技集团公司 兰州物理研究所 化学工业出版社 高级工程师 技术专家 
《实用真空检漏技术》出版发行
《真空》2011年第4期94-94,共1页談治信 
由航天科技集团公司兰州物理研究所资深真空检漏技术专家、高级工程师曹慎诚编著的《实用真空检漏技术》一书已由化学工业出版社出版。该书是作者在几十年的真空检漏技术工程经验以及培训教学的基础上结合近几年出现的新技术、新成果综...
关键词：检漏技术 真空检漏 出版发行 航天科技集团公司 兰州物理研究所 化学工业出版社 高级工程师 检漏方法 
氦质谱真空检漏技术在贮气系统中的应用
《中国工程物理研究院科技年报》2006年第1期186-186,共1页贾传强 
贮气系统是一套较为复杂的用于贮存放射性气体的设备，出于安全角度，对整个系统的密封性能要求较高。系统内安装的钢瓶数量较多，需在不同时间段内分不同钢瓶贮存或释放出气体，造成系统内需要使用大量的管道和阀门，造成贮气系统内部...
关键词：氦质谱检漏技术 气系统 放射性气体 应用 真空 性能要求 内部结构 操作空间 
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