检漏方法

作品数：157被引量：268H指数：9
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薄壁构件的氦质谱正压-真空检漏试验研究
《真空》2025年第1期15-20,共6页庞嘉炜 高建强 陈光奇 李杰 魏裕隆 
对薄壁部件的内部抽真空会引起构件的周向或径向失稳导致构件报废,这是困扰薄壁部件正压定量检漏的难题。本文提出一种对薄壁构件内部充氦气、外部抽真空的正压-真空氦质谱检漏方法。设计了用正压标准漏孔同步比对的定量检漏工装,可进...
关键词：氦质谱 检漏方法 薄壁部件 正压-真空检漏 最小可检漏率 
基于十字中心定位算法的MEMS真空封装光学检漏方法
《传感器与微系统》2024年第10期146-149,共4页张浩威 侯虎旺 赵旸 张鹏 
国家自然科学基金资助项目(12172348)。
典型的光学检漏方法需要对整幅干涉图甚至多幅干涉图进行图像处理,过程相对复杂。本文结合MEMS器件封装结构的对称特性以及变形分布特征,提出了一种简单、快捷的十字中心定位算法。通过确定干涉图案中心点坐标,获取中心线光强分布,进而...
关键词：真空封装 激光干涉 光学检漏 十字中心定位法 
核电厂安全壳氦质谱检漏方法的可行性分析被引量：1
《科技创新与应用》2024年第5期20-23,共4页李刚 李尚科 陈英瑜 单强 杨中华 
安全壳是“核”与公众之间的最后一道安全屏障,其密封性至关重要,核电厂需要定期执行安全壳密封性试验。为提高核电厂安全壳泄漏检测的精度和效率,探索一种安全壳泄漏定位检测的新方法,即通过将氦气作为示踪剂按照一定比例充压到安全壳...
关键词：核电厂 安全壳 氦质谱 泄漏 检漏 
关于SF6电气设备检漏补漏技术的研究现状及案例分析被引量：1
《电气时代》2023年第7期63-67,共5页魏存金 韩建玮 赵云龙 金佳美 董晨晨 
配电网中大量的电气设备采用SF6气体作为主绝缘介质,但是随着设备的长期运行,气体泄漏故障时有发生,直接影响配电网安全稳定运行。通过对SF6目前应用较为广泛的检漏方法是红外成像检测法,而补漏技术需要根据现场情况制定对应的措施。阜...
关键词：SF6电气设备 绝缘介质 绝缘气体 SF6气体 泄漏故障 检漏方法 供电公司 技术理念 
镀膜设备真空检漏方法和分析思路
《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2023年第3期1-4,共4页刘春光 
晶圆镀膜工艺是在高真空的腔室中进行的,工艺要求在腔室中需要保持一个本底压力,如果漏孔较大,真空设备的抽速与漏孔漏率不能平衡,将无法满足做工艺的本底压力要求。当腔室出现漏孔的时候,就需要通过真空检漏来确定漏孔的位置和大小,堵...
关键词：晶圆镀膜 本底压力 漏孔 真空检漏 压升率 
低温贮箱共底管路的真空氦质谱检漏方法及系统设计分析
《中文科技期刊数据库（引文版）工程技术》2023年第2期122-125,共4页张忠义 李冀超 贾子超 王良振 马 健 
现阶段,氦质谱检漏技术在真空检漏中的应用十分普遍,这种检漏技术优势突出,检漏的灵敏度很高,可以达到较高的检漏数量级,相关检漏设备的响应速度快,氦分子在相关仪器高真空环境中具有很快的扩散速度,因此其在韩康、卫星、宇宙飞船等领...
关键词：低温贮箱 共底管路 真空 氦质谱检漏技术 系统设计 
低温发动机常用氦质谱检漏方法被引量：1
《装备制造技术》2022年第11期39-43,52,共6页王志猛 康红雷 张振 王春炎 霍福帅 郭亚明 
在阐述氦质谱检漏原理和检漏方法选择的基础上,介绍几种低温发动机常用的氦质谱检漏方法,举例介绍其检漏原理、检漏步骤和计算漏率后,针对低温发动机“低温高压”的工作特点,研究温度变化和压力变化对漏孔漏率的影响,给出漏孔漏率关于...
关键词：低温发动机 正压检漏 真空检漏 温度变化 压力变化 漏率 
设计真空设备需同时进行检漏方案设计研究被引量：1
《河南科技》2022年第19期39-44,共6页李育建 
在真空设备发生泄漏后,有时会出现漏点难找、检漏不方便、检漏时间长等问题。经分析研究后发现,这些问题产生的原因是有些真空设备在设计时忽略了真空检漏,从而导致后续真空检漏工作出现被动和困难。由此,笔者以真空设备为研究对象,在...
关键词：设计阶段 真空设备 真空检漏 检漏方法 
真空丝印机实用检漏方法的应用
《设备管理与维修》2022年第17期126-128,共3页李育建 
真空丝印机是印制电路板产品制作过程中的关键设备,但是在使用过程中会因零件磨损、老化等原因发生真空泄漏,如何及时快速检漏,并恢复真空丝印机的正常运行,就成为设备使用者最为关心的问题。介绍一种真空丝印机真空检漏的实用方法:此...
关键词：真空丝印机 抽真空检漏法 真空计检漏法 
低温贮箱共底管路的真空氦质谱检漏方法及系统被引量：2
《导弹与航天运载技术》2022年第2期104-109,共6页国冰 李强 王津 牛淼 郭锐 
某型火箭低温贮箱采用共底结构,射前需对共底抽真空,以降低共底两侧低温推进剂之间的热交换。为确保共底可顺利抽至所需的真空度,要求与共底相连的导管接头漏率不大于1×10^(-7)(Pa·m^(3))/s。对两种真空氦质谱检漏方法进行了对比,基...
关键词：共底 导管接头 真空氦质谱检漏 局部罩盒法 
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