微波等离子体渗氮装置  

作　　者：胡海天[1] 陈强[1] 邬钦崇[1] 

机构地区：[1]中国科学院等离子体物理研究所,合肥230031

出　　处：《金属热处理》1995年第10期34-35,共2页Heat Treatment of Metals

关 键 词：微波致电 等离子体 渗氮装置 

分 类 号：TG155.7[金属学及工艺—热处理]