激光烧蚀刻蚀过程的实时监测技术研究  

作　　者：潘大任[1] 

机构地区：[1]四川大学物理系

出　　处：《中国激光》1989年第5期263-266,共4页Chinese Journal of Lasers

摘　　要：提出了一种简单而有效的监测激光烧蚀方法.展示了等离子体发光强度-时间曲线用于激光烧蚀刻蚀过程实时监测的良好前景.

关 键 词：激光 监测 烧蚀 刻蚀 等离子体 

分 类 号：TN247[电子电信—物理电子学]