极限压强为10^—12托的涡轮分子泵  

作　　者：Ishim,H 徐云仙 

出　　处：《四川真空》1995年第3期38-41,共4页

关 键 词：分子真空泵 涡轮分子泵 极限压强 

分 类 号：TB752.27[一般工业技术—真空技术]