用于真空电弧涂镀中的静电探针诊断装置  

ELECTROSTATIC PROEE DIAGNOSTIC APPARATUS USED IN VACUUM ARC COATING

作　　者：杨磊[1] 邹积岩[1] 程仲元[1] 张汉明 

机构地区：[1]华中理工大学电力系高压教研室

出　　处：《微细加工技术》1995年第3期63-67,共5页Microfabrication Technology

摘　　要：本文介绍了一套能准确诊断真空电弧等离子体参数的Ｌａｎｇｍｕｉｒ探针系统。测得典型参数：电子温度０．６－０．７ｅＶ，等离子体电位２Ｖ，电子浓度２×１０￣（１５）／ｍ￣３。该装置可用于自动监控成膜过程。his paper describes a Langmuir probe system which can diagnose some ofthe plasma parameters in Vacuum Arc Coating precisely.As a result,typicalvalues are obtained as follows:electron temperature 0.6eV,plasma potential2V, electron density 2×10￣(15)/m￣3. This apparatus can be introduced to monitorand control the coating process automatically.

关 键 词：静电探针 真空电弧镀膜 真空镀膜 诊断装置 

分 类 号：TN305.8[电子电信—物理电子学]