正常态金属与氧化物高温超导薄膜界面扩散特性分析  

DIFFERENT INTERDIFFUSION CHARACTERISTICS BETWEEN Ag AND Al/YBa_2Cu_3O_(7-x) CONTACT INTERFACE

作　　者：康晋锋[1] 陈新[2] 王佑祥[2] 韩汝琦[1] 熊光成[3] 连贵君[3] 李杰[3] 吴思诚[3] 

机构地区：[1]北京大学微电子学研究所,北京100871 [2]中国科学院物理研究所和半导体研究所表面物理国家重点实验室,北京100080 [3]北京大学物理系,北京100871

出　　处：《物理学报》1995年第11期1831-1838,共8页Acta Physica Sinica

基　　金：国家自然科学基金;国防科技预研基金

摘　　要：利用二次离子质谱(SIMS)技术,分析了Ag和A1与YBa_2Cu_3O_(7-x)(YBCO)超导薄膜接触界面互扩散.结果显示,它们有不同的互扩散特征.利用SIMS的分析结果,可以很好地理解经高温热处理后,Ag/YBCO和A1/YBCO样品具有不同界面电学性质的原因.Different interdiffusion characteristics between the Ag/YBCO and Al/YBCO contact interfaces have been revealed by SIMS studies. The different electrical properties of Ag/YBCO and Al/YBCO interfaces after high temperature treatment are well understood by SIMS results.

关 键 词：YBCO 超导体 银 铝 界面扩散 

分 类 号：O511.2[理学—低温物理]