离子敏感场效应器件研究的进展  

作　　者：牛蒙年[1] 丁辛芳[1] 童勤义[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海冶金所,东南大学

出　　处：《仪器仪表学报》1995年第3期322-325,共4页Chinese Journal of Scientific Instrument

摘　　要：离子敏感场效应器件研究的进展牛蒙年（中国科学院上海冶金所）丁辛芳，童勤义（东南大学）０引言离子敏感场效应器件自问世至今已有二十多年，目前已能成功地对二十多种离子进行传感，而且形成多种对生物信号敏感的场效应结构传感器，如ＢｉｏＦＥＴ、ＥＮＦＥＴ、ＩＭＦ...

关 键 词：离子敏感材料 场效应器件 制造 发展 

分 类 号：TN386[电子电信—物理电子学]