热壁外延制备n-PbTe/p-Pb_(1-x)Sn_xTe异质结  

作　　者：杨玉琨[1] 李文明[1] 于磊[1] 杨易[1] 吴连民[1] 徐跃[1] 徐立兴[1] 熊欣[2] 

机构地区：[1]吉林大学分析测试实验中心,长春130023 [2]辽宁大学电子科学与工程系

出　　处：《真空科学与技术》1995年第5期343-346,共4页Vacuum Science and Technology

摘　　要：用改进的HWE装置，在BaF2衬底上制备n－PbTe／p－Pb_（1-x）Sn_xTe反型异质结的工艺及测试结果。SEM，XRD检测表明它是单晶异质结，I－U曲线表明它具有良好的整流特性。此外用C－U截距法测定了它的内建电势差Ud。

关 键 词：热壁外延 异质结 制备 HJ器件 

分 类 号：TN304.054[电子电信—物理电子学]