谐振腔增强型光探测器的优化设计  

Optimized Design for Resonant-cavity-enhanced (RCE) Photodetector

作　　者：崔海林[1] 周守利[1] 马如兵[1] 黄永清[1] 任晓敏[1] 

机构地区：[1]北京邮电大学光通信中心,北京100876

出　　处：《半导体光电》2005年第4期280-283,共4页Semiconductor Optoelectronics

基　　金：高等学校博士学科点专项科研基金项目(20020013010);国家"973"计划项目(2003CB314900)

摘　　要：讨论了谐振腔增强型光探测器的优化设计方法。综合分析了腔长、DBR反射镜的反射率、吸收层厚度、入光面积等关键因素对探测器性能的影响。采用特定的顺序来确定器件的各个参数,同时分析了驻波效应、生长偏差等因素的影响。The design method of resonant cavity enhanced （RCE） photodetector is discussed,and the length of the cavity, reflectivity of DBR,width of the absorption layer and area of the incidence light are systematically analysed, which are the keys to improve the performance of the devices. At the same time, a novel method is used to calculate all the parameters of the devices and analyze the standing wave effect and growth error.

关 键 词：谐振腔增强型 光电探测器 优化设计 入光面积 

分 类 号：TN253[电子电信—物理电子学]