一种激光干涉仪外部测量触发电路  

作　　者：刘宁[1] 

机构地区：[1]天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072

出　　处：《计测技术》2005年第4期52-52,54,共2页Metrology & Measurement Technology

关 键 词：激光干涉仪 测量精度 触发电路 实际尺寸 触发装置 工件 校准仪 测头 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程] TN344[机械工程—仪器科学与技术]