三菱电机开发出高功率绿色激光器  

出　　处：《光机电信息》2005年第8期30-30,共1页OME Information

摘　　要：三菱电机最近开发出一款输出功率为412W的固体绿色激光器。针对该工序用于生产液晶面板和有机EL面板用的低温多晶硅，通过提高激光器的输出功率，可将退火工序所需的时间缩短为此前的1／2。这样一来，既可提高退火装置的生产能力，又能降低提高生产能力所需的设备投资费用（每台售价不足10亿日元，约合人民币7700万元）。

关 键 词：绿色激光器 三菱电机 开发 高功率 有机EL面板 输出功率 生产能力 退火装置 低温多晶硅 

分 类 号：TN248.1[电子电信—物理电子学] TM925.12[电气工程—电力电子与电力传动]