低温多晶硅

作品数：155被引量：74H指数：5
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系列深紫外准分子激光器
《中国科学院院刊》2023年第S01期70-70,共1页
主要技术与性能指标,输出激光波长:193 nm、248 nm、308 nm、351 nm,最大激光脉冲能量:800 mJ(@248 nm),激光脉冲宽度:约25 ns,脉冲能量稳定性:<1%。主要应用,半导体光刻、低温多晶硅退火、脉冲薄膜沉积、光纤光栅刻蚀、紫外精细打标。
关键词：半导体光刻 低温多晶硅 激光波长 脉冲能量 光纤光栅 深紫外准分子激光 打标 薄膜沉积 
LTPS TP精益化管控研究
《电子世界》2021年第10期87-90,共4页苏海东 王成龙 姚磊 闫雷 李峰 李凯 高云 
低温多晶硅工艺作为薄膜晶体管显示器的主流工艺被各大面板厂商所采用。但是复杂的工艺制程导致基板形变较大,这就导致出现相应的光学类的不良,如串色,漏光,透过率低等。为了实现阵列基板和彩膜基板的高精度对位,本文研究了影响阵列基...
关键词：薄膜晶体管 低温多晶硅 LTPS 常规做法 镀膜工艺 均一性 透过率 跟踪测试 
基于低温多晶硅-氧化物半导体混合集成的薄膜晶体管显示背板技术被引量：2
《液晶与显示》2021年第3期420-431,共12页邓立昂 陈世林 黄博天 郭小军 
国家重点研发计划(No.2019YFA0706100);国家自然科学基金优秀青年科学基金(No.61922057)。
低温多晶硅-氧化物半导体混合集成(Low temperature polycrystalline silicon and oxide,LTPO)的薄膜晶体管(thin-film transistor,TFT)背板技术融合了低温多晶硅和氧化物半导体TFT两者的优势,为低功耗、高性能显示以及功能化集成提供...
关键词：薄膜晶体管 低温多晶硅 氧化物半导体 有源矩阵有机发光二极管 液晶显示 低功耗 
液晶显示屏低温多晶硅技术的应用分析
《中国军转民》2020年第11期58-59,共2页罗甜 
当前的液晶显示功能完善,其中在相关技术的研发、创新过程中,技术的执行是非常核心的组成部分,同时能够产生的影响力是非常高的。相对而言,低温多晶硅技术(LTPS),能够对液晶显示的效果有更好的保障,同时在液晶显示屏的功能塑造,以及各...
关键词：液晶 显示 低温多晶硅 技术 
RGB三通道缺陷检测投票分类器方法
《计算机工程与设计》2019年第2期462-466,共5页李全杰 程良伦 吴珍珍 蒋俊钊 
国家自然科学基金项目(61672170);国家自然科学基金青年科学基金项目(2017A010101017);国家重大研发计划基金项目(2016YFC0800506);广东省应用型科技研发专项基金项目(2015B090923004);广东省省级科技计划基金项目(2016B030301008);广东省省级科技计划基金项目(2014B090904079)
针对低温多晶硅/金属氧化物(LTPS/IGZO)玻璃基板缺陷检测图像具有周期性和固定性的特性,为提高缺陷的识别性能,提出一种投票分类器。将待检测的LTPS/IGZO玻璃基板的RGB (红绿蓝三通道色彩模式)缺陷图像分成R、G、B这3种颜色的合成图像,...
关键词：低温多晶硅/金属氧化物 玻璃基板 红绿蓝 缺陷检测 投票分类器 缺陷类型 
浅谈低温多晶硅技术
《成功》2018年第24期82-82,共1页刘婷 张永辉 张霁 
低温多晶硅技术是有源矩阵LCD领域的一项关键技术,它的未来会怎样,而目前它是否又得到了充分应用呢?此文章将解答这些问题。
关键词：非晶硅 多晶硅 低温多晶硅 
用于液晶显示器的低温多晶硅玻璃基板的研究现状及发展趋势被引量：6
《材料导报》2018年第A02期130-133,共4页韩娜 石丽芬 王萍萍 曹欣 刘灿 马立云 
国家重点研发计划(2016YFB0303700);安徽省科技重大专项计划项目(17030901004)
目前,电子信息产品应用广泛,液晶显示器是电子产品的必备元件。低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器(LTPS TFTLCD)因具有解析度高、响应速度快、能耗低、画质高、性能高等优势而成为继非晶硅之后的新一代有源矩阵液晶显示器。由于LTPS高温...
关键词：玻璃基板 低温多晶硅 薄膜晶体管 液晶显示器 
金属氧化物薄膜晶体管最新研究进展被引量：1
《纺织高校基础科学学报》2018年第4期438-445,共8页王春兰 李玉庆 韩莎 姚奇 高博 
国家自然科学基金(11604252);陕西省自然科学基金(2017JQ1015);陕西省教育厅科研计划项目(16JK1335);西安工程大学博士科研启动基金(BS15026)
薄膜晶体管(TFTs)为满足高性能平板显示器的发展需求,正经历着快速增长的态势,同时其应用也扩大到新型透明电子和功能型电子领域.基于大量文献和研究工作,阐述金属氧化物TFTs的发展历程,非晶硅、低温多晶硅以及有机物等半导体材料TFTs...
关键词：薄膜晶体管 金属氧化物 高迁移率 显示器 低温多晶硅 非晶硅 半导体材料 
基于LTPS制程工艺的LCD/OLED显示用玻璃基板发展综述被引量：14
《材料导报》2018年第A02期73-79,共7页田英良 胡春明 张广涛 王为 陈鑫鑫 李俊杰 
国家重点研发计划(2017YFB0310201-04)
随着显示行业高端消费品的发展要求,LTPS成为目前显示领域炙手可热的先进技术,但是由于国外技术封锁,国内全部依赖进口,因而我们必须自主研发,提升综合竞争力。本文基于平板显示最新发展动态和研发热点,综述了高分辨率LCD/OLED显示产品...
关键词：低温多晶硅(LTPS) 液晶显示/有机发光显示(LCD/OLED) 玻璃基板 制程工艺 热学性能 
普莱克斯与和辉光电签署长期供气合同
《深冷技术》2018年第2期61-61,共1页
普莱克斯中国网站2018年1月22日消息，普莱克斯宣布近期与上海和辉光电有限公司签署长期供气合同，为其在上海金山新建的第6代AMOLED显示项目提供高纯氮气、氧气、氦气、氩气以及其他气体供应。和辉光电是一家专注于中小尺寸AMOLED显示...
关键词：供气合同 光电 OLED显示屏 高科技公司 低温多晶硅 中国网站 高纯氮气 显示技术 
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