TCZ发布平面显示器制造用的低温多晶硅结晶设备  

出　　处：《半导体技术》2005年第9期84-84,共1页Semiconductor Technology

摘　　要：美国Cymer公司与德国卡尔·蔡司SMT公司组成的一家合资企业——TCZ公司日前面向制造平面显示器（FPD）发布一种创新型生产工具——TCZ-900X。这种先进的TCZ-900X制造工具用于帮助低温多晶硅（LTPS）显示器厂商提高量产产出效率和降低雷射结晶成本。

关 键 词：平面显示器 低温多晶硅 面向制造 结晶 设备 生产工具 合资企业 制造工具 创新型 

分 类 号：TN873.91[电子电信—信息与通信工程] F014.1[经济管理—政治经济学]