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机构地区:[1]浙江海洋学院电气工程系,浙江舟山316004 [2]上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海200030
出 处:《传感技术学报》2005年第3期565-569,共5页Chinese Journal of Sensors and Actuators
基 金:航天科技创新基金资助项目
摘 要:含陀螺效应的声表面波(SAW)波动方程的求解是分析旋转压电基体SAW传播特性和设计SAW角速度传感器的理论基础。以旋转条件下压电基体声表面波方程的建立和求解为研究内容,推导了含陀螺效应的Christoffel方程的一般表达式,提出了在求解中必须注意对解耦波的判别及进行相应的处理,设计了计算机数值求解的软件,并给出了流程。以新型压电材料硅酸镓镧作为求解的实例,验证了算法的可行性。理论与算法可为与陀螺效应有关的SAW器件的设计提供参考。The Solutions of Surface Acoustic Wave (SAW) wave equation with gyroscopic ettect is the theory foundation of analyzing the propagation characteristics of SAW on rotated piezoelectric substrate and designing SAW angular rate sensor. The establishment and resolving of the SAW wave equations under rotation condition are researched. The general expressions of Christoffel equation with gyroscopic effect are derived, and it was put forward that the iudgment and transaction of decoupling wave must be given high attention. The numerical calculation software is designed, and the calculation flow is given also. As an example of numerical solution, the La3Ga5SiO4 material is calculated and the feasibility of algorithm is validated. The theory and algorithm of this paper can provide some guides for the design of SAW devices related to gyroscopic effect.
关 键 词:声表面波 陀螺效应 求解波动方程 解耦 声表面波(SAW) 数值求解 波动方程 角速度传感器 压电材料 旋转条件
分 类 号:TP212.9[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] O241.82[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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