高Tc超导红外探测器与焦平面列阵(Ⅲ)  

作　　者：刘心田[1] 石保安[1] 吴增烈[1] 汤定元[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海技术物理所,上海200083

出　　处：《传感技术学报》1996年第1期60-62,共3页Chinese Journal of Sensors and Actuators

摘　　要：由于实际应用,多元列阵和焦平面列阵的研制更吸引入,可以说,应用微结构工艺是很容易制成高Tc超导多元探测器的,如Honeywell公司的1×12元线阵已进行了空间环境试验.它们用掩膜方法制备了1

关 键 词：红外探测器 焦平面列阵 高TC超导 

分 类 号：TN215[电子电信—物理电子学]