用不同的含硼靶通过反应性射频与直流溅射制备立方晶氮化硼膜  

作　　者：周清明 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1996年第7期9-10,共2页

关 键 词：氮化硼 薄膜 射频溅射 

分 类 号：O613.81[理学—无机化学] O484.1[理学—化学]