基于MEMS技术的微型传感器  

Microsensors Based on MEMS Technology

作　　者：李学东[1] 余志伟[1] 杨明忠[1] 

机构地区：[1]武汉理工大学机电工程学院,湖北武汉430070

出　　处：《仪表技术与传感器》2005年第9期4-5,12,共3页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：和传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它们能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景,越来越受到重视。文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理,说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。Compared with traditional sensors, microsensors have a lot of new characteristics, which more and more attract people＇s attention. By showing some kinds of microsensors, introduced the various structures and principles of these microsensors, described their excellent performance, and indicated the development trend of microsensors.

关 键 词：MEMS技术 微型传感器 特点 智能化 多功能化 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]