电化学原子层外延及其新材料制备应用研究进展  

Electrochemical Atomic Layer Epitaxy and Research Progress of Its Application in Preparation of New Materials

作　　者：侯杰[1] 杨君友[1] 朱文[1] 郜鲜辉[1] 

机构地区：[1]华中科技大学模具技术国家重点实验室,武汉430074

出　　处：《材料导报》2005年第9期87-90,共4页Materials Reports

基　　金：国家基础研究重大项目前期专项(2004CCA03200);国家自然科学基金(50401008)

摘　　要：电化学原子层外延(ECALE)是电化学沉积和原子层外延技术的结合,通过运用欠电势技术交替电化学沉积化合物的组成元素一次一个原子层而实现外延生长。详细介绍了电化学原子层外延(ECALE)的基本原理和特点,分析了影响 ECALE 过程的关键要素,并进一步介绍了它在新材料制备中的应用研究进展。Electrochemical atomic layer epitaxy （ECALE） is a combination of two feasible growth techniques, the electrochemical deposition and atomic layer epitaxy. The growth involves the alternating electro-deposition of each component elment of a compound, one monolayer at a time by underpotential deposition that is critical in ECALE. In this paper, the principle and characteristics of ECALE is introduced in detail, and the main factors influencing the ECALE progress are analyzed. Besides, the research progress of ECALE used in preparation of new materials is reviewed.

关 键 词：纳米超晶格 ECALE 欠电位沉积 原子层外延 

分 类 号：TQ150.1[化学工程—电化学工业]