面向超精密加工的压电陶瓷驱动微进给系统的控制实现  

A controller of micro-positioning system using PZT for ultra-precision machining

作　　者：张曦[1] 李蓓智[1] 杨建国[1] 

机构地区：[1]东华大学机械工程学院,上海200051

出　　处：《机械设计与制造》2005年第10期133-135,共3页Machinery Design & Manufacture

摘　　要：介绍了一种最新开发的面向精密加工机床的压电陶瓷驱动微进给控制系统,该系统是一个集驱动、检测和补偿为一体的闭环系统。文章详细描述了控制系统的工作原理、基本功能组成和软硬件设计要点及其基本实现方法。A new micro - positioning control system using PZT for ultra - precision machining was designed. The functions of this system include measure, compensate, drive, etc. The working principle of the system , construction of the functions and the hardware ＆ software consist are described in detail.

关 键 词：超精密 微进给 压电陶瓷 控制 

分 类 号：TH112.2[机械工程—机械设计及理论]