超精密机床激光干涉测量系统误差分析及补偿  

Error Analysis and Compensation of Laser Interferometer Measuration System of Ultraprecision Machine Tools

作　　者：于宝成[1] 王春梅[2] 

机构地区：[1]华中科技大学机械学院,武汉430073 [2]武汉化工学院计算机系

出　　处：《机械制造》2005年第10期63-65,共3页Machinery

摘　　要：详细分析了超精密机床加工中,激光测量系统误差组成及其产生机理,给出了有效的修正和补偿手段。影响激光测量系统精度和重复精度的主要误差因素可分为3类:内部误差、环境误差和安装误差。通过实例分析精密机床四轴激光测量系统,设计出了四轴激光测量光路,实现超精密工作台的X、Y、Rz三自由度位置反馈,给出了影响测量精度的误差因素以及对系统精度的影响大小。

关 键 词：激光测量 误差补偿 定位精度 测量精度 

分 类 号：TG502.13[金属学及工艺—金属切削加工及机床] P225.2[天文地球—大地测量学与测量工程]