薄膜科学与技术  

出　　处：《光机电信息》2005年第9期32-33,共2页OME Information

摘　　要：碳化硅半导体器件用薄膜=Thin film in silicon carbide semiconductor

关 键 词：薄膜科学 SEMICONDUCTOR SILICON DEVICES 技术 硅半导体器件 in 

分 类 号：TN929.53[电子电信—通信与信息系统] TB43[电子电信—信息与通信工程]