液态金属离子源发射系统的电场计算  

Electric Field Calculation of Liquid Metal Ion Source Emitting System

作　　者：马向国[1] 顾文琪[1] 

机构地区：[1]中国科学院电工研究所

出　　处：《微细加工技术》2005年第3期20-26,共7页Microfabrication Technology

摘　　要：针对液态金属离子源的发射系统属于轴对称系统的特点,采用动态喷流柱模型,利用模拟电荷法对液态金属离子源发射系统的电场进行了计算,结果表明,该方法计算精度高,非常适合于电子束、离子束系统发射极附近电场的计算。According to the characteristic of the axial symmetry of the liquid metal ion source emitting system, the electric field of the system is calculated by using the dynamic protrusion model and charge simulation method. The calculation result indicates that this method has very high calculation precision and fits to calculate emitting poles＇ electric field of electron beam and ion beam system.

关 键 词：液态金属离子源 模拟电荷法 发射系统 动态喷流柱 

分 类 号：TN305.3[电子电信—物理电子学]