几种新型集成硅微(型)传感器系统  

Review of Some Integrated Silicon Micro-sensor Systems

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作  者:温志渝[1] 费龙[1] 胡松 钟先信[1] 

机构地区:[1]重庆大学国家教委光电技术及系统开放实验室

出  处:《光学精密工程》1996年第1期25-28,共4页Optics and Precision Engineering

基  金:国家自然科学基金

摘  要:介绍了作者近年来在硅微机械加工技术和半导体集成电路技术相结合的基础上研制的硅微机械与光纤组合式阵列声传感器、集成硅微机械光压力传感器和微型多道成像光谱分析系统的结构、工作原理及制造工艺.This paper reviews some integrated silicon micro-sensor systems,hybrid silicon micromachine and optical fibre array sensor,integrated silicon micro-mechancial optical pressuresensor and micro-multichannel spectrum analyzer,which have been developed by authors inrecent years.The structures,working principles and frbrication processes are brieflyintroduced.

关 键 词:微机械技术 微型 传感器系统 集成光学  

分 类 号:TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH122-39[自动化与计算机技术—控制科学与工程]

 

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