费龙

作品数：10被引量：18H指数：2
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发文领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程电气工程更多>>
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微硅型光机电系统集成化技术中的金属布线
《半导体光电》1996年第4期362-365,共4页温志渝 胡松 钟先信 费龙 
国家自然科学基金
针对微硅型光机电系统集成化技术中电路和金属布线与硅微各向导性深腐蚀工艺之间的不相容问题，从寻求一种电路和金属布线保护层的思想出发，提出了用ＳｉＯ２／Ｃｒ复合膜作电路和布线保护膜的新工艺方法。解决了微硅型光机电系统集成...
关键词：微硅型 光机电 集成化 金属布线 各几异性腐蚀 
新型差动式集成硅微声传感器
《仪器仪表学报》1996年第S1期295-298,共4页徐涛 钟先信 温志渝 费龙 
国家自然科学基金
本文提出了一种新颖的可获取差动检测信号的集成化硅微光纤传感器结构。该结构使困难的硅微光纤传感器的装调及封装过程大为简化，能有效的抑制检测过程中的多种干扰。本文详述了该传感器制造过程，并进行了传感器的特性实验。实验表明...
关键词：悬臂梁 声传感 光纤传感器 光纤端面 差动式 掩膜版 硅微结构 频谱分析 位置关系 硅微传感器 
硅多次掩膜各向异性腐蚀掩膜版的计算机辅助设计
《仪器仪表学报》1996年第S1期54-56,64,共4页费龙 徐涛 温志渝 高扬 
国家自然科学基金
研究了硅的多次掩膜各向异性腐蚀过程，提出了多次掩膜各向异性腐蚀掩膜版计算机辅助设计的方法。
关键词：各向异性腐蚀 掩膜版 计算机辅助设计 腐蚀深度 各向异性腐蚀技术 几何形状 微结构 腐蚀过程 几何形体 硅各向异性腐蚀 
几种新型集成硅微（型）传感器系统
《光学精密工程》1996年第1期25-28,共4页温志渝 费龙 胡松 钟先信 
国家自然科学基金
介绍了作者近年来在硅微机械加工技术和半导体集成电路技术相结合的基础上研制的硅微机械与光纤组合式阵列声传感器、集成硅微机械光压力传感器和微型多道成像光谱分析系统的结构、工作原理及制造工艺．
关键词：微机械技术 微型 传感器系统 集成光学 硅 
微机械传感器计算机辅助设计系统被引量：1
《仪器仪表学报》1995年第S1期223-226,244,共5页费龙 钟先信 温志渝 徐涛 
国家教委博士点基金
微机械传感器计算机辅助设计已成为微机械传感器研制中的必要手段。本文介绍了机械微传感器计算机辅助设计系统的结构和特点．并以一种特殊的硅微加速度传感器设计为例，论述了有关的技术问题。
关键词：微机械传感器 计算机辅助设计 敏感元件 设计系统 微机械结构 硅微加速度传感器 传感单元 数据库 工艺条件 传感器阵列 
集成硅微机械光压力传感器被引量：2
《半导体光电》1995年第3期245-247,共3页温志渝 费龙 
国家自然科学基金青年资金
介绍了一种新颖的集成硅微机械光压力传感器的结构、工作原理、制造工艺和实验结果。该传感器是利用半导体集成电路微细加工技术和各向异性腐蚀相结合的方法，将传输、获取信息的光波导，敏感弹性硅膜和光电探测器集成在一块三维硅基片...
关键词：压力传感器 光波导 硅微机械 硅膜 各向异性腐蚀 
硅微加速度传感器的现状及研究方向被引量：10
《传感器技术》1995年第5期1-6,共6页费龙 钟先信 温志渝 高扬 
国家教委博士点基金
综述了典型的硅微加速度传感器的原理、结构和特性，分析了硅微加速度传感器中的几项关键技术和研究方向。
关键词：传感器 加速度 硅微加工 
利用阵列传感系统降低硅微机械加速度传感器的横向灵敏度
《传感技术学报》1995年第4期75-78,共4页费龙 钟先信 温志渝 高杨 
国家教委博士点;国家自然科学基金资助课题
为消除带质量块的压阻式硅微加速度传感器的横向灵敏度,曾采取许多办法,但收效甚微,为此本文提出利用传感器阵列降低硅微加速度传感器的横向灵敏度的方法.
关键词：加速度传感器 阵列传感系统 灵敏度 横向效应 
悬臂梁式光纤振动传感的一种光调制方法的特性研究被引量：1
《传感器技术》1995年第3期20-22,共3页刘桂雄 钟先信 陈愚 费龙 
国家自然科学基金
从悬臂梁式光纤振动传感的基本原理出发，应用较为成熟的光纤连接耦合理论，导出了悬臂梁（反射体和敏感体）相对于稳定的光纤运动的一种光调制方法数学模型，通过计算机运算求得其特性曲线，为传感器的设计提供可靠的理论依据。
关键词：光纤振动传感器 悬臂梁 光调制 光纤 
集成硅微悬臂梁融合式传感器制造技术被引量：5
《光学精密工程》1995年第2期47-50,共4页温志渝 费龙 钟先信 胡松 王晓兰 
国家自然科学基金
简要地描述了以各种微结构的硅悬臂梁作为敏感元件构成的不同用途的新型融合式传感器及其列阵；介绍了硅微悬臂梁融合式传感器的设计和制造工艺；对笔者正在研究的硅微悬臂梁与光纤组合式列阵感器作了初步的报道。研究结果表明这是一种...
关键词：硅微悬臂梁 融合式传感器 微细加工技术 
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