高扬

作品数：2被引量：10H指数：1
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供职机构：重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室更多>>
发文主题：硅传感器加速度微加速度传感器掩膜版更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
发文期刊：《仪器仪表学报》更多>>
所获基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
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硅多次掩膜各向异性腐蚀掩膜版的计算机辅助设计
《仪器仪表学报》1996年第S1期54-56,64,共4页费龙 徐涛 温志渝 高扬 
国家自然科学基金
研究了硅的多次掩膜各向异性腐蚀过程，提出了多次掩膜各向异性腐蚀掩膜版计算机辅助设计的方法。
关键词：各向异性腐蚀 掩膜版 计算机辅助设计 腐蚀深度 各向异性腐蚀技术 几何形状 微结构 腐蚀过程 几何形体 硅各向异性腐蚀 
硅微加速度传感器的现状及研究方向被引量：10
《传感器技术》1995年第5期1-6,共6页费龙 钟先信 温志渝 高扬 
国家教委博士点基金
综述了典型的硅微加速度传感器的原理、结构和特性，分析了硅微加速度传感器中的几项关键技术和研究方向。
关键词：传感器 加速度 硅微加工 
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