硅微加速度传感器的现状及研究方向  

Present Status and Developing Directions of Micromachined Silicon Acceleromter

作　　者：费龙[1] 钟先信[1] 温志渝[1] 高扬[1] 

机构地区：[1]重庆大学光电精密机械研究所,国家教委教学仪器研究所

出　　处：《传感器技术》1995年第5期1-6,共6页Journal of Transducer Technology

基　　金：国家教委博士点基金

摘　　要：综述了典型的硅微加速度传感器的原理、结构和特性，分析了硅微加速度传感器中的几项关键技术和研究方向。This paper reviews the prinhciples, structures, features and usages of typical micromachined silicon accelerometers, The key techniques and developing directions are analysed .

关 键 词：传感器 加速度 硅微加工 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN304.12[自动化与计算机技术—控制科学与工程]