微机械传感器计算机辅助设计系统  

Micro一Mechanical Sensor CAD System

作　　者：费龙[1] 钟先信[1] 温志渝[1] 徐涛[1] 

机构地区：[1]重庆大学国家教委光电技术及系统开放实验室

出　　处：《仪器仪表学报》1995年第S1期223-226,244,共5页Chinese Journal of Scientific Instrument

基　　金：国家教委博士点基金

摘　　要：微机械传感器计算机辅助设计已成为微机械传感器研制中的必要手段。本文介绍了机械微传感器计算机辅助设计系统的结构和特点．并以一种特殊的硅微加速度传感器设计为例，论述了有关的技术问题。Abstract With the development of micro一mechanical sensor and the increasing-performance demands in percision and accuracy of this device,there is a criticalneed for CADtools which will permit rational design.Thise paper describes thearchitecture of CAD systemfOr micro一mechanical sensor.Some technical problemsare discoursed throgh a special microaccelerometer design with CAD system.

关 键 词：微机械传感器 计算机辅助设计 敏感元件 设计系统 微机械结构 硅微加速度传感器 传感单元 数据库 工艺条件 传感器阵列 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]