光机电

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基于细分插值技术的光栅干涉MOEMS加速度计
《微纳电子技术》2025年第3期135-141,共7页杨鹏 金丽 解琨阳 李孟委 
山西省基础研究计划资助项目(202403021221122)。
为了解决光栅加速度计信号全量程线性化的问题,提出了一种基于细分插值技术的光栅干涉微光机电系统(MOEMS)加速度计。首先阐述了光栅干涉式加速度计的敏感机理,即通过两束衍射光之间的光程差变化引起的干涉光强变化实现加速度检测,然后...
关键词：加速度计 微光机电系统(MOEMS) 光栅干涉 细分插值 线性化 
晋城市光机电产业研究院
《科学之友》2025年第2期F0002-F0002,共1页
晋城市光机电产业研究院是晋城市委、市政府批准设立的独立事业法人单位,是以清华大学范守善院士领衔专家团队为支撑的新型研发机构。2020年成立以来,研究院先后获批建设省级重点实验室、省级工程研究中心、省级新型研发机构、院士工作...
关键词：科技成果 省级重点实验室 事业法人 产学研用 新型研发机构 工程研究中心 深度融合 专家团队 
微光机电引信芯片光纤抗高过载设计方法
《探测与控制学报》2024年第6期29-36,45,共9页张笑 谢晋 曹骏 代俊 张德 
针对微光机电系统(MOEMS)芯片在中大口径榴弹炮引信中的应用需求,提出一种MOEMS封装方法。通过在光纤槽部分设计光纤定位结构,实现光纤的被动对准,光纤对准后在芯片外部使用环氧胶对光纤进行轴向的可靠固定。采用ANSYS Workbench软件对...
关键词：微光机电系统 引信 光纤 高过载 封装 
大角度线性偏转的电热式微镜仿真设计
《计算机与数字工程》2024年第10期2932-2936,2954,共6页和学泰 祝方舟 邵光笑 李庆党 
MEMS微镜虽种类繁多,但是能够实现大角度偏转能力的MEMS微镜却很少,能够实现线性偏转能力的MEMS微镜更是屈指可数。论文针对现有MEMS微镜偏转角度小、偏转能力不可控以及无法线性偏转等问题,提出了一种新型的电热式MEMS微镜结构,该结构...
关键词：微光机电系统 电热式微镜仿真 线性偏转MEMS微镜 大角度偏转微镜 
磁平衡法压力计量方法与装置
《光学仪器》2024年第5期75-80,共6页屠彬彬 蔡绯 赵巨峰 崔光茫 
国家市场监督管理总局科技计划(2021MK046);浙江省基础公益研究计划(LY22F050002)。
活塞式压力计量中,微量的压力变化需要依赖微小砝码,无法实现连续压力变化输出,且自动化存在一定困难。鉴于此,提出了一种基于光机电设计的磁平衡法压力计量方法并进行装置研究,以探索电磁平衡法实现压力计量的可行性。在该装置中,原本...
关键词：压力计量 电磁平衡 光机电设计 
光机电产业计量测试中心创建探索
《中国计量》2024年第7期50-52,共3页娄东风 
探索创建光机电产业计量测试中心,是当前检验检测机构自我革新与光机电产业发展深度融合的重要课题。文章深入分析了晋城创建光机电产业计量测试中心的优势条件,并提出了光机电产业计量测试中心的未来发展思路,以期助力光机电产业高质...
关键词：光机电产业 优势条件 发展思路 计量测试中心 
基于单质量块微纳光栅泰伯效应的双轴MOEMS加速度计被引量：1
《微纳电子技术》2024年第4期98-104,共7页杜艺鑫 金丽 解琨阳 吴倩楠 李孟委 
国家自然科学基金(62005253)。
对一种基于单质量块微纳光栅泰伯效应双轴微光机电系统(MOEMS)加速度计进行了设计、加工与测试。利用有限元分析和时域有限差分法分别对双轴加速度计的敏感结构和光栅参数进行仿真优化。在保证加速度计高集成度的同时,为了实现双轴加速...
关键词：微光机电系统(MOEMS) 双轴MOEMS加速度计 泰伯效应 微纳光栅 阳极键合 
微纳光栅MOEMS加速度计优化设计与测试
《微纳电子技术》2024年第4期114-120,共7页王策 张晓玉 金丽 解琨阳 贾鑫瑞 张鹏 李孟委 
国家自然科学基金(62005253)。
提出了一种基于微纳光栅泰伯效应的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过Comsol软件对加速度计结构和光栅结构参数进行优化,使其在20g量程范围内获得较大的结构灵敏度和衍射效应灵敏度,同时通过仿真分析了该结构的交叉轴串扰情况。由于受...
关键词：微光机电系统(MOEMS) 光栅加速度计 泰伯效应 温度闭环反馈控制 零偏稳定性 
地方资讯
《中国计量》2024年第3期150-151,共2页王新胜 沈宏申 张洪明 王宗双 刘琼馨 杨基勤 张俊乐 武振宁 毛天 王林波 沈春磊 魏合营 李海东 徐博 范静文 张铭 
山西光机电产业计量测试中心获批筹建日前,山西省晋城市综合检验检测中心申请筹建的山西光机电产业计量测试中心已获该省市场监管局批复筹建。晋城市综合检验检测中心将进一步分析梳理光机电产业链关键参数,扎实开展“三全一前”技术服...
关键词：计量测试 山西省晋城市 检验检测 跨越式发展 产业链 光机电 筹建 
引信微光机电系统安全系统研究现状与发展趋势被引量：1
《探测与控制学报》2024年第1期1-11,共11页张笑 谢晋 熊壮 张德 代俊 
国家自然科学基金项目(NSFC51975046)。
随着引信微小型化和智能化不断发展,电磁兼容性要求不断提升,对其安全系统提出了更高的要求。基于微光机电系统(MOEMS)技术的器件具有体积小、重量轻、能耗低、集成度高和可批量生产等特点,在引信安全系统中有较好的应用前景。对引信MO...
关键词：微光机电系统 引信安全系统 安全与解除隔离装置 激光起爆 
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