硅微传感器

作品数：16被引量：34H指数：4
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谐振式硅微传感器闭环系统动态特性影响因素被引量：1
《计测技术》2012年第1期10-14,共5页邢维巍 冯晓妍 樊尚春 汤章阳 
国家自然科学基金资助项目(60927005)
动态特性是传感器的一个重要的性能指标。本文分析了基于幅频特性的谐振式硅微压力传感器闭环系统的动态特性及其影响因素,并进行了相应的实验研究。由基于幅频特性的闭环系统内部控制过程得到影响闭环系统动态特性的因素有三个:谐振器...
关键词：谐振式 传感器 闭环系统 动态特性 
谐振敏感元件特性模拟器的研究
《传感技术学报》2011年第1期41-45,共5页邢维巍 杜艳 樊尚春 
国家自然科学基金谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器资助(60927005);国家自然科学基金微机械谐振子激励检测方法及阻尼控制研究资助(60804062)
为了实现谐振式硅微传感器测试仪器的直接校验,以及进行谐振式传感器反馈控制电路的优化研究,设计了能够模拟压阻拾振式谐振敏感元件特性的电路。其中压阻变换是该电路实现的关键。文章采用模拟电路实现对谐振敏感元件的电阻拾振特性的...
关键词：谐振式传感器 硅微机械 压阻拾振 模拟器 压控电阻 硅微传感器 
一种集成三轴加速度、压力、温度的硅微传感器被引量：5
《仪器仪表学报》2007年第8期1393-1398,共6页徐敬波 赵玉龙 蒋庄德 孙剑 
国家自然科学基金(50535030;50475085);国家重点基础研究发展规划(2004CB619302);教育部"新世纪优秀人才支持计划"(NCET-05-0842)资助项目
针对恶劣环境和严格空间体积限制条件下的多参数测量问题,利用绝缘体上硅(SOI)材料,采用微型机械电子系统(MEMS)技术,研制了一种可以同时测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂...
关键词：集成传感器 SOI MEMS 
基于硅微传感器的混合机桨叶状态无线测试系统
《微纳电子技术》2007年第7期162-164,共3页滕淑芬 钱政 
混合是固体火箭推进剂制造过程中的一个关键工序,需在线测量桨叶上的压力信号。为此,设计并实现了混合机桨叶状态的在线检测系统,对实现过程中的若干关键技术进行深入研究,系统通过了现场联调。最后对测试系统设计过程中存在的不足进行...
关键词：混合机 硅微压阻压力传感器 在线检测系统 
基于SOI的集成硅微传感器芯片的制作被引量：9
《Journal of Semiconductors》2007年第2期302-307,共6页徐敬波 赵玉龙 蒋庄德 张大成 杨芳 孙剑 
国家自然科学基金(批准号:50535030;50475085);国家重点基础研究发展规划(批准号:2004CB619302);教育部"新世纪优秀人才支持计划"(批准号:NCET-05-0842)资助项目~~
为满足小体积、多参数测量的要求,采用SOI硅片,设计了一种测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂硅压阻效应,温度传感器基于掺杂硅电阻温度效应.根据集成传感器的结构,制定了相...
关键词：集成传感器 SOI MEMS 芯片 
一种集成式多参数硅微传感器被引量：4
《传感技术学报》2006年第2期273-276,共4页周建发 赵玉龙 苑国英 蒋庄德 
国家自然科学基金资助(50475085)
为了实现小体积多参数的测量,提出一种单片集成多功能传感器。该传感器包括压力、温度和湿度传感器。各部分分别基于半导体压阻效应、电阻迁移率变化、极板间电容变化为原理制作而成。该传感器采用n型(100)基底,利用体硅和面硅工艺加工...
关键词：压力传感器 扩散 温度传感器 湿度传感器 集成传感器 
棉条检测硅微传感器
《传感器世界》2005年第4期43-43,共1页
棉条是经梳棉机和并条机制成的，棉条质量的好坏直接影响着纺织品的质量。为此，在梳棉机和并条机精纺设备上配有各种自调匀整系统，在线检测、控制棉条质量指标一线密度。棉条传感器是自调匀整系统的关键部件，其性能好坏直接影响整个...
关键词：棉条 硅微传感器 在线检测 性能指标 MEMS技术 
基于MAX1457的加速度硅微传感器的信号处理
《中国测试技术》2005年第2期115-117,123,共4页刘丹 刘晓明 
"十五"军事预研项目 (18 8 1 2 )
测高g值的加速度硅微传感器[4] 采用单晶硅材料制成,直接输出信号小,存在严重的温度误差。采用MAX14 5 7专用传感器信号处理器,它可以补偿传感器的温度误差和非线性误差。本文分析了MAX14 5 7的工作原理,设计了获得补偿参数的系统。
关键词：测高g值的加速度硅微传感器 温度补偿 MAX1457 或门 信号处理 
基于E型圆膜片的复合差动谐振式敏感元件
《科学技术与工程》2005年第5期313-315,共3页樊尚春 乔少杰 
国家自然科学基金(50275009)航空科学基金(02I51018)资助
对以E型圆膜片为一次敏感元件、一对对称的硅梁谐振子为二次敏感元件的复合差动敏感元件的力学特性进行了分析。给出了其敏感压力、差压、集中力与加速度时,梁谐振子固有频率随被测量变化的解析计算模型。
关键词：E型圆膜片 硅微传感器 谐振式传感器 差动检测 
利用硅微传感器实现智能内窥镜的主动避障被引量：1
《机电一体化》2004年第3期21-24,共4页殷金喜 钱晋武 沈林勇 章亚男 
863计划项目(2001AA422180);国家自然科学基金项目(50075050);教育部优秀青年教师资助计划项目;上海市重点科技攻关项目(021111115)
内窥镜主动避障系统是利用微型接触传感器、电动机械卡爪和伺服控制系统等构成的一个实验系统,尝试用机器人技术改造传统内窥镜,使其在介入人体肠道时,端部能对人体肠道壁面主动回避,减少穿孔发生的可能性。就基于硅微触觉传感器的内窥...
关键词：硅微传感器 医疗机器人 内窥镜 肠道检查 主动避障 
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